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题名:
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基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用 / 张玉宝，李强主编 , |
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ISBN:
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978-7-5024-4276-7 价格： CNY32.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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198页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2007 |
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内容提要:
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本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例。 |
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主题词:
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微电机 计算机辅助设计 |
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主题词:
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微电机 |
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主题词:
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计算机辅助设计 |
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主题词:
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建立模型 |
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中图分类法:
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TM380.2 版次： 4 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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张玉宝 主编 |
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主要责任者:
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李强 主编 |