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题名:
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压电薄膜材料与器件制备技术 / 张涛著 , |
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ISBN:
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978-7-5612-3480-8 价格： CNY28.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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191页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西北工业大学出版社 出版日期： 2012 |
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内容提要:
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本书主要分为压电薄膜制备技术和薄膜压电器件制备技术两部分，讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术，内容包括：压电薄膜基础理论，压电薄膜制备技术与进展等。 |
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主题词:
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压电薄膜 压电材料 |
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主题词:
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压电薄膜 压电器件 |
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主题词:
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压电薄膜 |
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主题词:
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压电材料 |
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主题词:
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压电器件 |
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中图分类法:
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TM22 版次： 4 |
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主要责任者:
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张涛 著 |
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附注:
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学术专著·材料科学与工程 |