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题名:
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MEMS材料与工艺手册 / (美)利萨·格迪斯, 林斌彦著 , 黄庆安等译 |
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ISBN:
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978-7-5641-4053-3 价格： CNY198.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11, 14, 966页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 南京 出版社： 东南大学出版社 出版日期： 2014 |
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内容提要:
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微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。 |
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主题词:
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微电子技术 电子材料 |
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主题词:
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微电子技术 生产工艺 |
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中图分类法:
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TN4-62 版次： 5 |
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主要责任者:
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格迪斯 著 |
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主要责任者:
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林斌彦 著 |
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次要责任者:
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黄庆安 译 |