题名:
硅材料质量与硅器件工艺
/ 夏锦禄等著 ,
出版发行:
出版地： 上海 出版社：
上海科学技术文献出版社
出版日期： 1979-8-1
中图分类法:
TN34 版次：
主要责任者:
夏锦禄等
著